日本曹達と関西大学、半導体用下層膜を共同開発　EUV露光量を低減

ニュースの要点

日本曹達は2026年11月13日、関西大学と、先端半導体の製造に使うEUV（極端紫外線）レジストの感度を高める下層膜材料を共同開発したと発表しました。少ない露光量で感光性材料を反応させることを目的としています。

開発したポリマーを、感光性材料であるレジストと半導体基板の間に形成します。ポジ型CARと呼ぶレジストを用いた初期評価では、開発品を使わない場合に比べ、現像後に同程度の膜厚減少を得るためのEUV露光量が20％以上低減したとしています。

ネガ型CARでも反応を促す傾向を確認しました。両者は今後、材料の組成・構造、微細パターン形成、製造プロセスへの適用可能性、量産性や品質・供給体制を検討します。量産採用や製造時の消費電力低減を実証した発表ではありません。

ニュース出典: 日本曹達「日本曹達と関西大学、EUVレジストの高感度化につながる下層膜材料を共同開発」（2026年11月13日）

イノベーション総研の考察

今回の事例は、新材料の効き目を示す初期指標と、顧客の製造工程で採用できる条件を切り分けるうえで新規事業の担当者の方の参考になります。露光量が減ったという結果は重要ですが、それだけで微細な回路を安定して作れるか、既存工程へ組み込めるかまでは決まりません。以下は発表の評価条件と今後の検討項目に基づくイノベーション総研の考察です。

「20％以上」が何を比べた数字かを固定する

比較対象は開発品を使わない場合、評価指標は現像後の膜厚減少です。

日本曹達が具体的な数値を示したのは、ポジ型CARを使った初期評価です。同程度の膜厚減少に必要なEUV露光量を比較しています。この結果を、半導体工場全体の電力が20％減る、処理速度が20％上がる、同じ微細パターンを20％少ない露光量で量産できる、と読み替えることはできません。ネガ型についても、数値を伴わない「同じ傾向」として分けて扱う必要があります。

自社で新材料や新技術の実証を評価する場合も、改善率だけを取り出すと投資の前提が変わります。何を使わない条件との比較か、同程度とした成果は何かを先にそろえ、その指標が顧客の採用判断にどこまでつながるかを確認することが重要です。今回でいえば、初期の反応を測る指標から、実際の微細パターン形成性能へ検証を進める段階が残っています。

レジストを替えるだけでなく、下層膜から反応を助ける

新材料の価値は、隣り合う工程や材料との組み合わせで決まります。

発表では、レジストを通過したEUVを下層膜が吸収し、そこで生じる二次電子がレジストの化学反応を促進することを期待しています。一般的な下層膜の塗布性や密着性、反射防止などの役割に、増感機能を加える構想です。ただし、説明された作用と初期の評価結果をもって、あらゆるレジストで同じ効果が得られるとするものではありません。

事業開発の観点では、主材料そのものの置き換えだけが参入方法ではないことを示す事例です。一方、周辺材料として価値を出すなら、単独での性能値より、既存材料との相性が採用を左右します。顧客への提案では、効果が出た条件と、まだ確かめていない組み合わせを一緒に示すことで、次に試す対象を合意しやすくなります。発表もレジストの種類や各膜厚、露光・現像条件との関係を今後の検証対象に挙げています。

反応の確認から、製造工程への適用へ進める

初期指標の改善と、顧客が採用できる工程条件は別の確認事項です。

両者は次の検討として、材料の組成・構造の最適化に加え、微細パターン形成性能と製造プロセスへの適用可能性を掲げています。したがって、今回の発表から顧客の製造ラインへの導入が決まったとは判断できません。材料の反応が進みやすくなっても、狙った加工を得られる条件が定まらなければ、顧客にとっての用途は確定しません。

共同研究から事業化へ進む際は、研究で見えた効果を追う作業と、顧客工程に必要な条件を確認する作業を分けて管理したいところです。まずはどのレジストと膜厚の組み合わせを評価し、どの結果を得れば次の試験へ進むかを定めます。最終用途の価値に近い試験で効果が確認できるまでは、導入先数や売上を先に置くより、技術上の成立条件を明らかにするほうが次の判断につながります。

量産性・品質・供給を、性能とは別に確認する

材料が効くことに加え、安定して作り届けられることが事業化の条件になります。

日本曹達と関西大学は、実用化に向けて量産性、品質安定性、供給体制も検討するとしています。これらが今後の課題として明記されている以上、供給が既に確立した製品と同じ前提で提携や調達を考えることはできません。現時点で顧客採用、販売開始時期、量産設備への投資額などは発表本文に示されていません。

材料分野への参入や共同研究を検討する企業は、性能を再現できる条件と、安定供給できる条件を別々に確認する必要があります。今回の次の観測点は、微細パターン形成での評価結果に加え、品質を保って製造できる範囲や供給体制の具体化です。初期結果が良いことを理由に量産投資へ直結させず、研究の成果をどの条件で顧客に渡せるかを確かめる進め方が重要になります。

まとめ

日本曹達と関西大学の開発品は、EUV露光量を抑えてレジストを反応させる可能性を、初期評価で示した下層膜材料です。確認されたのは特定条件での膜厚減少を指標とする効果であり、量産採用や省電力の実績ではありません。新材料の事業化を考える際は、初期効果、顧客工程への適用、量産・供給の確認を分け、次の投資や共同検証に進む条件を整理することが有効です。

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